用于极紫外光辐射源设备的极紫外光收集器反射镜及极紫外光辐射源设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910578340.5

申请日：

2019-06-28

公开(公告)号：

CN110658694B

公开(公告)日：

2020-01-07

发明(设计)人：

陈昱至郑博中陈立锐简上傑余昇刚颜炜峻

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-01	授权	授权
2020-01-07	公开	公开
2020-02-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190628

共 50 条

[1]

极紫外光辐射源 [P].

赖韦志 ;

张汉龙 ;

杨基 ;

简上杰 ;

刘柏村 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN109788623A ,2019-05-21

[2]

极紫外光辐射源装置 [P].

苏彦硕 ;

张俊霖 ;

张汉龙 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110662334A ,2020-01-07

[3]

极紫外光辐射源的控制方法 [P].

钟仁阳 ;

谢劼 ;

简上杰 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN109587918A ,2019-04-05

[4]

用于极紫外光辐射源设备的碎片收集装置 [P].

简上杰 ;

钟仁阳 ;

吴尚颖 ;

傅中其 ;

陈立锐 ;

郑博中 ;

陈家桢 .

中国专利 :CN109148320A ,2019-01-04

[5]

极紫外光辐射设备和用于产生极紫外光的坩锅 [P].

徐子正 ;

涂志强 ;

吕建兴 ;

温志伟 ;

曾信富 ;

林世杰 .

中国专利 :CN220933341U ,2024-05-10

[6]

清洗极紫外辐射源设备的方法及极紫外辐射源设备 [P].

陈彦勳 ;

蔡明训 ;

王绍华 ;

张汉龙 ;

陈立锐 ;

陈家桢 .

中国专利 :CN110653221B ,2020-01-07

[7]

用于控制极紫外光辐射源中的激发激光的装置 [P].

赖韦志 ;

张汉龙 ;

刘柏村 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN109782546A ,2019-05-21

[8]

用于产生极紫外光辐射的方法 [P].

陈昱至 ;

余昇刚 ;

杨基 ;

简上傑 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110658692A ,2020-01-07

[9]

产生极紫外光辐射的装置 [P].

谢劼 ;

陈冠宏 ;

许峻嘉 ;

简上傑 ;

刘柏村 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110837209A ,2020-02-25

[10]

极紫外光辐射的光源及其产生方法、极紫外光微影系统 [P].

杨基 ;

陈思妤 ;

简上杰 ;

谢劼 ;

傅中其 ;

刘柏村 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN109581822A ,2019-04-05

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