清洗极紫外辐射源设备的方法及极紫外辐射源设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910560150.0

申请日：

2019-06-26

公开(公告)号：

CN110653221B

公开(公告)日：

2020-01-07

发明(设计)人：

陈彦勳蔡明训王绍华张汉龙陈立锐陈家桢

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号

IPC主分类号：

B08B700

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	授权	授权
2020-01-07	公开	公开
2021-03-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 7/00 申请日:20190626

共 50 条

[1]

极紫外辐射源装置 [P].

杨基 ;

林圣达 ;

钟仁阳 ;

简上傑 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110837208A ,2020-02-25

[2]

极紫外辐射源装置 [P].

吕建兴 ;

涂志强 ;

温志伟 ;

曾信富 ;

徐子正 .

中国专利 :CN222461889U ,2025-02-11

[3]

极紫外（EUV）辐射源 [P].

V·V·德什潘德 ;

S·V·德什潘德 ;

D·克利斯 ;

O·格鲁申克夫 ;

S·克里什南 .

中国专利 :CN106605450A ,2017-04-26

[4]

极紫外辐射源和用于产生极紫外辐射的方法 [P].

Y·V·斯戴尼克夫 ;

V·Y·班尼恩 ;

K·N·克什烈夫 ;

O·W·V·弗吉恩斯 ;

V·M·克里夫特逊 .

中国专利 :CN101911838A ,2010-12-08

[5]

极紫外辐射源、产生极紫外辐射的方法及图案形成的方法 [P].

杨建勋 ;

张克正 ;

杨建伦 .

中国专利 :CN113126447B ,2025-03-14

[6]

基于微磁的极紫外辐射源 [P].

D·E·尼科诺夫 ;

I·A·扬 .

中国专利 :CN104519652A ,2015-04-15

[7]

用于极紫外光辐射源设备的极紫外光收集器反射镜及极紫外光辐射源设备 [P].

陈昱至 ;

郑博中 ;

陈立锐 ;

简上傑 ;

余昇刚 ;

颜炜峻 .

中国专利 :CN110658694B ,2020-01-07

[8]

可移动紫外辐射源 [P].

A·杜博尔因斯基 ;

M·舒尔 ;

R·格斯卡 .

中国专利 :CN107072261A ,2017-08-18

[9]

极紫外辐射源与半导体制程方法 [P].

郑乔华 ;

孙于洸 ;

程薇心 ;

陈宇桓 ;

蔡明训 ;

赖政豪 ;

吴政轩 ;

罗煜发 ;

简上傑 ;

刘恒信 ;

陈立锐 ;

余昇刚 .

中国专利 :CN115047718A ,2022-09-13

[10]

A·M·雅库尼恩 ;

J·A·C·M·皮耶宁堡 ;

C.G.N.H.M.柯林 .

中国专利 :CN111108815A ,2020-05-05

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