极紫外辐射源、产生极紫外辐射的方法及图案形成的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011606332.6

申请日：

2020-12-30

公开(公告)号：

CN113126447B

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

杨建勋张克正杨建伦

申请人：

台湾积体电路制造股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

聂慧荃;闫华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	授权	授权

共 50 条

[1]

极紫外辐射源和用于产生极紫外辐射的方法 [P].

Y·V·斯戴尼克夫 ;

V·Y·班尼恩 ;

K·N·克什烈夫 ;

O·W·V·弗吉恩斯 ;

V·M·克里夫特逊 .

中国专利 :CN101911838A ,2010-12-08

[2]

清洗极紫外辐射源设备的方法及极紫外辐射源设备 [P].

陈彦勳 ;

蔡明训 ;

王绍华 ;

张汉龙 ;

陈立锐 ;

陈家桢 .

中国专利 :CN110653221B ,2020-01-07

[3]

产生极紫外辐射的方法 [P].

杨建勋 ;

张克正 ;

杨建伦 .

中国专利 :CN113126447A ,2021-07-16

[4]

极紫外辐射源装置 [P].

杨基 ;

林圣达 ;

钟仁阳 ;

简上傑 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110837208A ,2020-02-25

[5]

极紫外辐射源装置 [P].

吕建兴 ;

涂志强 ;

温志伟 ;

曾信富 ;

徐子正 .

中国专利 :CN222461889U ,2025-02-11

[6]

基于微磁的极紫外辐射源 [P].

D·E·尼科诺夫 ;

I·A·扬 .

中国专利 :CN104519652A ,2015-04-15

[7]

产生极紫外辐射的装置 [P].

许峻嘉 ;

郑博中 ;

陈立锐 ;

简上傑 ;

苏彦硕 ;

谢劼 ;

杨基 .

中国专利 :CN110837206A ,2020-02-25

[8]

用来产生极紫外辐射的极紫外光源 [P].

杨基 ;

陈鑫封 ;

陈立锐 .

中国专利 :CN111123655A ,2020-05-08

[9]

极紫外辐射产生装置 [P].

郑定亚 ;

张俊霖 ;

陈立锐 ;

张汉龙 .

中国专利 :CN110874022A ,2020-03-10

[10]

操作极紫外光产生装置的方法及极紫外辐射产生装置 [P].

陈思妤 ;

许哲彰 ;

杨基 ;

简上傑 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110967937B ,2020-04-07

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