极紫外辐射源和用于产生极紫外辐射的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880122902.5

申请日：

2008-12-19

公开(公告)号：

CN101911838A

公开(公告)日：

2010-12-08

发明(设计)人：

Y·V·斯戴尼克夫 V·Y·班尼恩 K·N·克什烈夫 O·W·V·弗吉恩斯 V·M·克里夫特逊

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

H05G200

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王波波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101032295880 IPC(主分类):H05G 2/00 专利申请号:2008801229025 申请日:20081219
2014-01-15	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H05G 2/00 专利申请号:2008801229025 申请公布日:20101208 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101686140557
2010-12-08	公开	公开

共 50 条

[1]

清洗极紫外辐射源设备的方法及极紫外辐射源设备 [P].

陈彦勳 ;

蔡明训 ;

王绍华 ;

张汉龙 ;

陈立锐 ;

陈家桢 .

中国专利 :CN110653221B ,2020-01-07

[2]

极紫外辐射源、产生极紫外辐射的方法及图案形成的方法 [P].

杨建勋 ;

张克正 ;

杨建伦 .

中国专利 :CN113126447B ,2025-03-14

[3]

极紫外辐射源装置 [P].

杨基 ;

林圣达 ;

钟仁阳 ;

简上傑 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110837208A ,2020-02-25

[4]

极紫外辐射源装置 [P].

吕建兴 ;

涂志强 ;

温志伟 ;

曾信富 ;

徐子正 .

中国专利 :CN222461889U ,2025-02-11

[5]

极紫外（EUV）辐射源 [P].

V·V·德什潘德 ;

S·V·德什潘德 ;

D·克利斯 ;

O·格鲁申克夫 ;

S·克里什南 .

中国专利 :CN106605450A ,2017-04-26

[6]

用于产生极紫外辐射的模块和方法 [P].

T·A·R·范因佩尔 ;

V·Y·班宁 ;

V·V·伊万诺夫 ;

E·R·鲁普斯特拉 ;

J·B·P·范斯库特 ;

Y·J·G·范德维杰威 ;

G·H·P·M·斯温克尔斯 ;

H·G·诗密尔 ;

D·莱伯斯克依 ;

J·H·J·摩尔斯 .

中国专利 :CN101785369A ,2010-07-21

[7]

基于微磁的极紫外辐射源 [P].

D·E·尼科诺夫 ;

I·A·扬 .

中国专利 :CN104519652A ,2015-04-15

[8]

产生极紫外辐射的方法 [P].

杨建勋 ;

张克正 ;

杨建伦 .

中国专利 :CN113126447A ,2021-07-16

[9]

极紫外线辐射源模块 [P].

许峻嘉 ;

谢劼 ;

简上杰 ;

陈立锐 ;

郑博中 ;

傅中其 ;

刘柏村 .

中国专利 :CN119758679A ,2025-04-04

[10]

极紫外线辐射源模块 [P].

许峻嘉 ;

谢劼 ;

简上杰 ;

陈立锐 ;

郑博中 ;

傅中其 ;

刘柏村 .

中国专利 :CN109839804A ,2019-06-04

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