用于产生极紫外辐射的模块和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880103760.8

申请日：

2008-08-25

公开(公告)号：

CN101785369A

公开(公告)日：

2010-07-21

发明(设计)人：

T·A·R·范因佩尔 V·Y·班宁 V·V·伊万诺夫 E·R·鲁普斯特拉 J·B·P·范斯库特 Y·J·G·范德维杰威 G·H·P·M·斯温克尔斯 H·G·诗密尔 D·莱伯斯克依 J·H·J·摩尔斯

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

H05G200

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王新华

法律状态：

公开

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

极紫外辐射源和用于产生极紫外辐射的方法 [P].

Y·V·斯戴尼克夫 ;

V·Y·班尼恩 ;

K·N·克什烈夫 ;

O·W·V·弗吉恩斯 ;

V·M·克里夫特逊 .

中国专利 :CN101911838A ,2010-12-08

[2]

产生极紫外辐射的方法 [P].

杨建勋 ;

张克正 ;

杨建伦 .

中国专利 :CN113126447A ,2021-07-16

[3]

产生极紫外辐射或软X射线辐射的方法和设备 [P].

J·约恩克尔斯 ;

D·M·沃德雷范格 ;

W·内夫 .

中国专利 :CN100420352C ,2006-10-18

[4]

极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统 [P].

马修泉 ;

王力波 ;

闻锦程 ;

吴寒 ;

刘怀亮 ;

马新敏 ;

陆培祥 .

中国专利 :CN113296368B ,2021-08-24

[5]

产生极紫外辐射的装置 [P].

许峻嘉 ;

郑博中 ;

陈立锐 ;

简上傑 ;

苏彦硕 ;

谢劼 ;

杨基 .

中国专利 :CN110837206A ,2020-02-25

[6]

极紫外辐射产生装置 [P].

郑定亚 ;

张俊霖 ;

陈立锐 ;

张汉龙 .

中国专利 :CN110874022A ,2020-03-10

[7]

用来产生极紫外辐射的极紫外光源 [P].

杨基 ;

陈鑫封 ;

陈立锐 .

中国专利 :CN111123655A ,2020-05-08

[8]

极紫外辐射源、产生极紫外辐射的方法及图案形成的方法 [P].

杨建勋 ;

张克正 ;

杨建伦 .

中国专利 :CN113126447B ,2025-03-14

[9]

操作极紫外光产生装置的方法及极紫外辐射产生装置 [P].

陈思妤 ;

许哲彰 ;

杨基 ;

简上傑 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110967937B ,2020-04-07

[10]

产生远紫外辐射的方法 [P].

G·H·德拉 ;

U·尼曼恩 .

中国专利 :CN1650676A ,2005-08-03

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-07-21	公开	公开
2017-08-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757023386 IPC(主分类):H05G 2/00 专利申请号:2008801037608 申请公布日:20100721
2010-09-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005820576 IPC(主分类):H05G 2/00 专利申请号:2008801037608 申请日:20080825