极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110458736.3

申请日：

2021-04-27

公开(公告)号：

CN113296368B

公开(公告)日：

2021-08-24

发明(设计)人：

马修泉王力波闻锦程吴寒刘怀亮马新敏陆培祥

申请人：

申请人地址：

523808 广东省东莞市松山湖园区学府路1号5栋

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

纪婷婧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-24	公开	公开
2021-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20210427
2023-01-31	授权	授权

共 50 条

[1]

极紫外辐射源和用于产生极紫外辐射的方法 [P].

Y·V·斯戴尼克夫 ;

V·Y·班尼恩 ;

K·N·克什烈夫 ;

O·W·V·弗吉恩斯 ;

V·M·克里夫特逊 .

中国专利 :CN101911838A ,2010-12-08

[2]

极紫外辐射产生装置 [P].

郑定亚 ;

张俊霖 ;

陈立锐 ;

张汉龙 .

中国专利 :CN110874022A ,2020-03-10

[3]

极紫外辐射光源装置 [P].

蔡明训 ;

李秉承 ;

陈彦勳 .

中国专利 :CN110658691A ,2020-01-07

[4]

用于产生极紫外辐射的模块和方法 [P].

T·A·R·范因佩尔 ;

V·Y·班宁 ;

V·V·伊万诺夫 ;

E·R·鲁普斯特拉 ;

J·B·P·范斯库特 ;

Y·J·G·范德维杰威 ;

G·H·P·M·斯温克尔斯 ;

H·G·诗密尔 ;

D·莱伯斯克依 ;

J·H·J·摩尔斯 .

中国专利 :CN101785369A ,2010-07-21

[5]

清洗极紫外辐射源设备的方法及极紫外辐射源设备 [P].

陈彦勳 ;

蔡明训 ;

王绍华 ;

张汉龙 ;

陈立锐 ;

陈家桢 .

中国专利 :CN110653221B ,2020-01-07

[6]

产生极紫外辐射的方法 [P].

杨建勋 ;

张克正 ;

杨建伦 .

中国专利 :CN113126447A ,2021-07-16

[7]

产生极紫外辐射的装置 [P].

许峻嘉 ;

郑博中 ;

陈立锐 ;

简上傑 ;

苏彦硕 ;

谢劼 ;

杨基 .

中国专利 :CN110837206A ,2020-02-25

[8]

极紫外辐射源装置 [P].

吕建兴 ;

涂志强 ;

温志伟 ;

曾信富 ;

徐子正 .

中国专利 :CN222461889U ,2025-02-11

[9]

极紫外辐射源装置 [P].

杨基 ;

林圣达 ;

钟仁阳 ;

简上傑 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110837208A ,2020-02-25

[10]

产生极紫外辐射或软X射线辐射的方法和设备 [P].

J·约恩克尔斯 ;

D·M·沃德雷范格 ;

W·内夫 .

中国专利 :CN100420352C ,2006-10-18

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