用于控制极紫外光辐射源中的激发激光的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811229196.6

申请日：

2018-10-22

公开(公告)号：

CN109782546A

公开(公告)日：

2019-05-21

发明(设计)人：

赖韦志张汉龙刘柏村陈立锐郑博中

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

黄艳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-21	公开	公开
2021-04-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20190521

共 50 条

[1]

极紫外光辐射源 [P].

赖韦志 ;

张汉龙 ;

杨基 ;

简上杰 ;

刘柏村 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN109788623A ,2019-05-21

[2]

极紫外光辐射源的控制方法 [P].

钟仁阳 ;

谢劼 ;

简上杰 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN109587918A ,2019-04-05

[3]

用于极紫外光辐射源设备的极紫外光收集器反射镜及极紫外光辐射源设备 [P].

陈昱至 ;

郑博中 ;

陈立锐 ;

简上傑 ;

余昇刚 ;

颜炜峻 .

中国专利 :CN110658694B ,2020-01-07

[4]

用于极紫外光辐射源设备的碎片收集装置 [P].

简上杰 ;

钟仁阳 ;

吴尚颖 ;

傅中其 ;

陈立锐 ;

郑博中 ;

陈家桢 .

中国专利 :CN109148320A ,2019-01-04

[5]

产生极紫外光辐射的装置 [P].

谢劼 ;

陈冠宏 ;

许峻嘉 ;

简上傑 ;

刘柏村 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110837209A ,2020-02-25

[6]

用于产生极紫外光辐射的方法 [P].

陈昱至 ;

余昇刚 ;

杨基 ;

简上傑 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN110658692A ,2020-01-07

[7]

极紫外光辐射设备和用于产生极紫外光的坩锅 [P].

徐子正 ;

涂志强 ;

吕建兴 ;

温志伟 ;

曾信富 ;

林世杰 .

中国专利 :CN220933341U ,2024-05-10

[8]

能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统 [P].

王骐 ;

赵永蓬 ;

徐强 .

中国专利 :CN102494765A ,2012-06-13

[9]

极紫外光辐射的光源及其产生方法、极紫外光微影系统 [P].

杨基 ;

陈思妤 ;

简上杰 ;

谢劼 ;

傅中其 ;

刘柏村 ;

陈立锐 ;

郑博中 .

中国专利 :CN109581822A ,2019-04-05

[10]

用于辐射源的控制单元及辐射检查系统 [P].

陈志强 ;

李元景 ;

刘以农 ;

李君利 ;

彭华 ;

刘耀红 ;

孙尚民 ;

张金宇 ;

张清军 ;

张丽 ;

谢亚丽 ;

邓艳丽 ;

阮明 ;

梁思远 ;

杨光 ;

贾玮 .

中国专利 :CN200990716Y ,2007-12-12

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