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炉体支撑机构及半导体热处理设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321276742.8
申请日：
2023-05-24
公开(公告)号：
CN220379242U
公开(公告)日：
2024-01-23
发明(设计)人：
毛成
李锐
杨莎
申请人：
株洲三一硅能技术有限公司
申请人地址：
412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道清霞路与老工业路交汇处西南侧南1跨厂房
IPC主分类号：
F16M11/04
IPC分类号：
C23C16/50
F16M11/18
H01L21/67
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
周磊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-23 | 授权 | 授权 |