扩晶环固定装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202321854798.7
申请日
2023-07-14
公开(公告)号
CN220420535U
公开(公告)日
2024-01-30
发明(设计)人
请求不公布姓名 请求不公布姓名 请求不公布姓名 请求不公布姓名 请求不公布姓名
申请人
安徽熙泰智能科技有限公司
申请人地址
241000 安徽省芜湖市芜湖长江大桥综合经济开发区高安街道经四路一号办公楼五楼
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
代理机构
芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107
代理人
朱顺利
法律状态
授权
国省代码
安徽省
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
膜材固定装置以及扩晶设备 [P]. 
王元召 ;
黄柏源 ;
涂渭清 ;
彭信翰 ;
徐念 ;
郭林豪 .
中国专利 :CN222462873U ,2025-02-11
[2]
晶圆固定装置 [P]. 
朱玉萍 ;
岑刚 .
中国专利 :CN203288574U ,2013-11-13
[3]
晶圆固定装置 [P]. 
史蒂文·贺·汪 .
中国专利 :CN212404337U ,2021-01-26
[4]
晶圆固定装置 [P]. 
雷清龚 .
中国专利 :CN202189772U ,2012-04-11
[5]
晶圆固定装置 [P]. 
陈鲁 ;
张朝前 ;
马砚忠 ;
李少雷 .
中国专利 :CN207542224U ,2018-06-26
[6]
接种环固定装置 [P]. 
李换平 .
中国专利 :CN215328012U ,2021-12-28
[7]
磁环固定装置 [P]. 
龚昇 ;
严政 .
中国专利 :CN214070399U ,2021-08-27
[8]
磁环固定装置 [P]. 
肖达度 .
中国专利 :CN211607247U ,2020-09-29
[9]
磁环固定装置 [P]. 
张唐霞 ;
石小莲 .
中国专利 :CN205552349U ,2016-09-07
[10]
磁环固定装置 [P]. 
刘远明 .
中国专利 :CN211090317U ,2020-07-24