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膜材固定装置以及扩晶设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323472184.5
申请日：
2023-12-18
公开(公告)号：
CN222462873U
公开(公告)日：
2025-02-11
发明(设计)人：
王元召
黄柏源
涂渭清
彭信翰
徐念
郭林豪
申请人：
海目星激光科技集团股份有限公司
申请人地址：
518110 广东省深圳市龙华区观湖街道鹭湖社区观盛五路科姆龙科技园B栋301
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京市京大律师事务所 11321
代理人：
苏福念
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-11 | 授权 | 授权 |