一种晶圆扩膜机用固定装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921190964.1

申请日：

2019-07-26

公开(公告)号：

CN211289248U

公开(公告)日：

2020-08-18

发明(设计)人：

黄运军

申请人：

申请人地址：

201600 上海市松江区中山西路174号2幢1201室

IPC主分类号：

F16M1104

IPC分类号：

F16M1122 F16F1504 H01L2167 H01L3348

代理机构：

上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297

代理人：

赵朋晓

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆固定装置 [P].

陈卫国 .

中国专利 :CN221447129U ,2024-07-30

[2]

晶圆焊接固定装置 [P].

蓝远锋 .

中国专利 :CN213816110U ,2021-07-27

[3]

一种晶圆甩干机用固定装置 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN215809733U ,2022-02-11

[4]

一种晶圆清洗固定装置 [P].

陶为银 ;

巩铁建 .

中国专利 :CN212848321U ,2021-03-30

[5]

晶圆固定装置 [P].

朱玉萍 ;

岑刚 .

中国专利 :CN203288574U ,2013-11-13

[6]

晶圆固定装置 [P].

史蒂文·贺·汪 .

中国专利 :CN212404337U ,2021-01-26

[7]

晶圆固定装置 [P].

雷清龚 .

中国专利 :CN202189772U ,2012-04-11

[8]

晶圆固定装置 [P].

陈鲁 ;

张朝前 ;

马砚忠 ;

李少雷 .

中国专利 :CN207542224U ,2018-06-26

[9]

蒸镀机用晶圆固定装置 [P].

李文涛 ;

王剑 ;

杨亮 ;

时文礼 .

中国专利 :CN204918749U ,2015-12-30

[10]

扩晶环固定装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN220420535U ,2024-01-30

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