晶圆自动上下片系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322770781.X

申请日：

2023-10-17

公开(公告)号：

CN221071646U

公开(公告)日：

2024-06-04

发明(设计)人：

刘煜昆郭明灿

申请人：

潍坊明哲智能科技有限公司

申请人地址：

261000 山东省潍坊市高新区新城街道玉清社区玉清东街以北中心次干道以西高新大厦1211室

IPC主分类号：

C23C16/54

IPC分类号：

C23C16/458 C23C16/50 C23C16/505

代理机构：

烟台炳诚专利代理事务所(普通合伙) 37258

代理人：

韩志方

法律状态：

授权

国省代码：

山东省潍坊市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-04	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆自动上下片系统 [P].

陈朝星 .

中国专利 :CN111029287A ,2020-04-17

[2]

一种晶圆镀锅自动上下片装置 [P].

冯庆雄 ;

王志峰 ;

杨大鹏 ;

丘晓明 .

中国专利 :CN218482211U ,2023-02-14

[3]

一种新型晶圆上下片装置 [P].

刘纯君 ;

王乐 .

中国专利 :CN222051723U ,2024-11-22

[4]

自动上下片装置 [P].

沈杰 ;

吴小明 .

中国专利 :CN222728961U ,2025-04-08

[5]

一种玻璃自动上下片系统 [P].

刘爱元 ;

潘清涛 ;

司立彬 .

中国专利 :CN216996646U ,2022-07-19

[6]

立式自动上下晶圆装置 [P].

王敕 ;

尚明伟 ;

郭平 .

中国专利 :CN212967646U ,2021-04-13

[7]

晶圆自动下片装置 [P].

全明 ;

李海虹 ;

朱标骑 ;

初守庆 .

中国专利 :CN222995368U ,2025-06-17

[8]

晶圆自动上片机 [P].

刘煜昆 ;

郭明灿 .

中国专利 :CN221282069U ,2024-07-05

[9]

一种新型晶圆上下片装置 [P].

刘纯君 ;

王乐 .

中国专利 :CN118280896A ,2024-07-02

[10]

EFEM晶圆自动上下料机 [P].

颜博 .

中国专利 :CN223427475U ,2025-10-10

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