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EFEM晶圆自动上下料机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422916317.1
申请日：
2024-11-28
公开(公告)号：
CN223427475U
公开(公告)日：
2025-10-10
发明(设计)人：
颜博
申请人：
苏州新尚思自动化设备有限公司
申请人地址：
215200 江苏省苏州市吴江区江陵街道辽浜路255号第1幢
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/687
H01L21/683
代理机构：
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103
代理人：
方中
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-10 | 授权 | 授权 |