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检测装置及探测器检测系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321944357.6
申请日：
2023-07-21
公开(公告)号：
CN220438470U
公开(公告)日：
2024-02-02
发明(设计)人：
王彦龙
申请人：
东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼
IPC主分类号：
G01R31/00
IPC分类号：
代理机构：
北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587
代理人：
张婷婷;杨彦鸿
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-02 | 授权 | 授权 |