液滴分析单元及包括其的基板处理装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202310900932.0
申请日
2023-07-21
公开(公告)号
CN117465142A
公开(公告)日
2024-01-30
发明(设计)人
陈元镛 张硕元
申请人
细美事有限公司
申请人地址
韩国忠清南道
IPC主分类号
B41J3/407
IPC分类号
G02F1/1335 B41J2/01 B41J2/045
代理机构
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204
代理人
刘旭;王艳春
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
液滴分析单元及包括该液滴分析单元的基板处理装置 [P]. 
陈元镛 ;
李载德 ;
张硕元 .
韩国专利 :CN117476499A ,2024-01-30
[2]
喷墨头单元及包括其的基板处理装置 [P]. 
于蔷薇 ;
梁真赫 ;
赵庸揆 ;
赵天洙 ;
崔基训 .
韩国专利 :CN117656675A ,2024-03-08
[3]
控制单元及包括其的基板处理装置 [P]. 
宋延徹 ;
林名俊 ;
金光燮 ;
李锺民 ;
吴埈昊 ;
柳志勳 ;
朴永镐 .
韩国专利 :CN115891432B ,2025-11-11
[4]
基板处理液供给单元以及具备其的基板处理装置 [P]. 
李东和 ;
尹大建 ;
李寿洪 ;
金知贤 ;
金大星 .
中国专利 :CN115674909A ,2023-02-03
[5]
基板处理液供给单元以及具备其的基板处理装置 [P]. 
李东和 ;
尹大建 ;
李寿洪 ;
金知贤 ;
金大星 .
韩国专利 :CN115674909B ,2025-10-10
[6]
控制单元及包括其的基板处理装置 [P]. 
权铉九 .
韩国专利 :CN118219682A ,2024-06-21
[7]
喷嘴单元及包括其的基板处理装置 [P]. 
尹勤植 .
中国专利 :CN206661766U ,2017-11-24
[8]
处理液提供单元及具有其的基板处理装置 [P]. 
李建旼 ;
河道炅 ;
崔文淳 ;
林采永 ;
刘在赫 .
中国专利 :CN115116888A ,2022-09-27
[9]
加热单元、包括其的基板处理装置及基板处理设备 [P]. 
徐钟锡 .
韩国专利 :CN117747471A ,2024-03-22
[10]
基板传送单元及包括该其的基板处理装置 [P]. 
洪南基 ;
李殷珠 ;
金基勳 .
韩国专利 :CN118016577A ,2024-05-10