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液滴分析单元及包括该液滴分析单元的基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310900439.9
申请日：
2023-07-21
公开(公告)号：
CN117476499A
公开(公告)日：
2024-01-30
发明(设计)人：
陈元镛
李载德
张硕元
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204
代理人：
刘旭;王艳春
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-30 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230721 |