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一种靶材防护装置、成膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311381325.4
申请日：
2023-10-23
公开(公告)号：
CN117587371A
公开(公告)日：
2024-02-23
发明(设计)人：
张玉州
袁杰
仇晓哲
申请人：
晶澳（扬州）太阳能科技有限公司
申请人地址：
225009 江苏省扬州市经济开发区建华路1号
IPC主分类号：
C23C14/35
IPC分类号：
C23C14/56
B08B5/02
B08B13/00
代理机构：
北京天达知识产权代理事务所有限公司 11386
代理人：
和欢庆
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
河北省
衡水市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20231023 |
| 2024-02-23 | 公开 | 公开 |