一种成膜设备的靶材结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710615440.1

申请日：

2017-07-26

公开(公告)号：

CN107313015A

公开(公告)日：

2017-11-03

发明(设计)人：

卢艳

申请人：

申请人地址：

102200 北京市昌平区马池口镇昌流路738号16号楼419室

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

王加贵

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-03	公开	公开
2017-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20170726
2019-08-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种靶材防护装置、成膜设备 [P].

张玉州 ;

袁杰 ;

仇晓哲 .

中国专利 :CN117587371A ,2024-02-23

[2]

靶材清洁组件及靶材清洁方法、成膜设备 [P].

谢锐 .

中国专利 :CN109023289B ,2018-12-18

[3]

一种用于成膜设备的线缆固定结构和成膜设备 [P].

孙少东 ;

杨雪 ;

董岚鑫 .

中国专利 :CN221947849U ,2024-11-01

[4]

一种靶材平面工件的喷涂设备 [P].

李兵 .

中国专利 :CN210085558U ,2020-02-18

[5]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN115427606B ,2024-01-02

[6]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

中国专利 :CN115427606A ,2022-12-02

[7]

一种成膜设备和成膜方法 [P].

林伟华 ;

魏明蕊 ;

刘科学 ;

王玉霞 .

中国专利 :CN111696848A ,2020-09-22

[8]

一种成膜设备 [P].

谢振南 ;

郑振宇 ;

姜勇 .

中国专利 :CN221971669U ,2024-11-08

[9]

一种成膜设备 [P].

张启平 ;

方旭东 ;

王伟 ;

孙文波 .

中国专利 :CN203741402U ,2014-07-30

[10]

一种成膜设备 [P].

卢艳 .

中国专利 :CN107345292A ,2017-11-14

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