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成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法
被引：0
申请号：
CN202080099470.1
申请日：
2020-11-11
公开(公告)号：
CN115427606A
公开(公告)日：
2022-12-02
发明(设计)人：
药师神弘士
坂本怜士
芝本雅弘
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-02 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20201111 |