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成膜设备、控制设备以及成膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311487538.5
申请日：
2020-11-11
公开(公告)号：
CN117535632A
公开(公告)日：
2024-02-09
发明(设计)人：
药师神弘士
坂本怜士
芝本雅弘
申请人：
佳能安内华股份有限公司
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C23C14/54
C23C14/56
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李靖
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-09 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20201111 |