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成膜设备和使用该成膜设备的成膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910599227.5
申请日：
2019-07-02
公开(公告)号：
CN110735122A
公开(公告)日：
2020-01-31
发明(设计)人：
出村和哉
堀江贵将
小林宽之
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
C23C1435
C23C1454
G02B111
代理机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人：
白皎
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-31 | 公开 | 公开 |
| 2020-07-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20190702 |