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成膜设备和成膜方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200780023056.7
申请日：
2007-06-06
公开(公告)号：
CN101611164A
公开(公告)日：
2009-12-23
发明(设计)人：
川又由雄
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司
代理人：
苗 征;于 辉
法律状态：
授权
国省代码：
引用
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2012-11-21 授权 授权
2010-02-17 实质审查的生效 实质审查的生效
2009-12-23 公开 公开
共 50 条
[1]
成膜设备和使用该成膜设备的成膜方法 [P]. 
出村和哉 ;
堀江贵将 ;
小林宽之 .
中国专利 :CN110735122A ,2020-01-31
[2]
成膜装置和成膜方法 [P]. 
松本诚谦 ;
桑原世治 .
中国专利 :CN102628160A ,2012-08-08
[3]
成膜装置和成膜方法 [P]. 
须田具和 ;
高桥明久 ;
织井雄一 ;
箱守宗人 .
中国专利 :CN110678575B ,2020-01-10
[4]
成膜装置和成膜方法 [P]. 
长谷川彰 ;
黑田俊也 ;
真田隆 .
中国专利 :CN103154313B ,2013-06-12
[5]
成膜设备以及成膜方法 [P]. 
吉冈润一郎 ;
堀江邦明 ;
南部信政 .
中国专利 :CN101842511A ,2010-09-22
[6]
成膜设备及成膜方法 [P]. 
欧建兵 .
中国专利 :CN109564955A ,2019-04-02
[7]
成膜设备以及成膜方法 [P]. 
伊藤孝浩 ;
中岛健次 .
中国专利 :CN102232240A ,2011-11-02
[8]
成膜设备及成膜方法 [P]. 
刘启富 .
中国专利 :CN109642314A ,2019-04-16
[9]
成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P]. 
药师神弘士 ;
坂本怜士 ;
芝本雅弘 .
日本专利 :CN115427606B ,2024-01-02
[10]
成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P]. 
药师神弘士 ;
坂本怜士 ;
芝本雅弘 .
中国专利 :CN115427606A ,2022-12-02
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