成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880035302.9

申请日：

2018-02-19

公开(公告)号：

CN110678575B

公开(公告)日：

2020-01-10

发明(设计)人：

须田具和高桥明久织井雄一箱守宗人

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

H01B1300

代理机构：

北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413

代理人：

邵秋雨;刘继富

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20180219
2021-08-31	授权	授权
2020-01-10	公开	公开

共 50 条

[1]

透明导电膜的成膜方法和成膜装置 [P].

高桥明久 ;

石桥晓 .

中国专利 :CN101910449A ,2010-12-08

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

宫浦博彰 ;

盐崎唯史 ;

新畑宏晃 .

中国专利 :CN102821869B ,2012-12-12

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

伊藤仁 ;

根石浩司 ;

小池淳一 .

中国专利 :CN102306627A ,2012-01-04

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

伊藤仁 ;

根石浩司 ;

小池淳一 .

中国专利 :CN101715602A ,2010-05-26

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

小岛康彦 ;

池田太郎 ;

波多野达夫 .

中国专利 :CN101484609A ,2009-07-15

[6]

成膜装置和成膜方法 [P].

松本诚谦 ;

桑原世治 .

中国专利 :CN102628160A ,2012-08-08

[7]

成膜装置和成膜方法 [P].

长谷川彰 ;

黑田俊也 ;

真田隆 .

中国专利 :CN103154313B ,2013-06-12

[8]

成膜装置及成膜方法 [P].

后藤谦次 ;

川岛卓也 ;

田边信夫 ;

铃木康雄 .

中国专利 :CN101263565A ,2008-09-10

[9]

成膜装置、成膜系统和成膜方法 [P].

松林信次 ;

茂山和基 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101501241A ,2009-08-05

[10]

成膜装置、成膜头和成膜方法 [P].

小野裕司 ;

林辉幸 .

中国专利 :CN102575347B ,2012-07-11

← 1 2 3 4 5 →