成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210023612.3

申请日：

2012-02-03

公开(公告)号：

CN102628160A

公开(公告)日：

2012-08-08

发明(设计)人：

松本诚谦桑原世治

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

康建忠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101331110588 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2012100236123 申请日:20120203
2015-04-08	授权	授权
2023-01-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20120203 授权公告日:20150408 终止日期:20220203
2012-08-08	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

小林洋介 ;

林信博 ;

饭岛正行 ;

多田勋 .

中国专利 :CN102016106A ,2011-04-13

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

石田将崇 ;

林达也 ;

菅原卓哉 ;

我妻伸哉 ;

宫内充祐 ;

姜友松 ;

长江亦周 .

中国专利 :CN106256927B ,2016-12-28

[3]

成膜装置和成膜方法 [P].

石丸友纪 ;

户田将也 ;

高桥恒太 ;

虎谷健一郎 ;

松尾和展 .

日本专利 :CN116949427B ,2025-10-31

[4]

成膜装置和成膜方法 [P].

须田具和 ;

高桥明久 ;

织井雄一 ;

箱守宗人 .

中国专利 :CN110678575B ,2020-01-10

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

长谷川彰 ;

黑田俊也 ;

真田隆 .

中国专利 :CN103154313B ,2013-06-12

[6]

成膜装置、成膜系统和成膜方法 [P].

松林信次 ;

茂山和基 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101501241A ,2009-08-05

[7]

成膜装置、成膜头和成膜方法 [P].

小野裕司 ;

林辉幸 .

中国专利 :CN102575347B ,2012-07-11

[8]

成膜装置、成膜单元和成膜方法 [P].

饭塚贵嗣 .

日本专利 :CN116438326B ,2024-04-12

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

三好秀典 ;

伊藤仁 ;

佐藤浩 .

中国专利 :CN102686773A ,2012-09-19

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

广田悟史 ;

山本兼司 ;

玉垣浩 .

中国专利 :CN103088287B ,2013-05-08

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