成膜设备以及成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880114150.8

申请日：

2008-10-30

公开(公告)号：

CN101842511A

公开(公告)日：

2010-09-22

发明(设计)人：

吉冈润一郎堀江邦明南部信政

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

C23C1424 C23C1434 C23C1456

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

许玉顺;胡建新

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-22	授权	授权
2010-12-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101019682410 IPC(主分类):C23C 14/22 专利申请号:2008801141508 申请日:20081030
2010-09-22	公开	公开
2018-10-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20081030 授权公告日:20120822 终止日期:20171030

共 50 条

[1]

成膜设备以及成膜方法 [P].

伊藤孝浩 ;

中岛健次 .

中国专利 :CN102232240A ,2011-11-02

[2]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN115427606B ,2024-01-02

[3]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

中国专利 :CN115427606A ,2022-12-02

[4]

成膜设备、控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN117535632A ,2024-02-09

[5]

成膜装置以及成膜方法 [P].

佐藤功康 .

中国专利 :CN114990492A ,2022-09-02

[6]

成膜装置以及成膜方法 [P].

深尾万里 ;

菊地博 .

中国专利 :CN102686764B ,2012-09-19

[7]

成膜装置以及成膜方法 [P].

军司勋男 .

中国专利 :CN102376549A ,2012-03-14

[8]

成膜设备及成膜方法 [P].

欧建兵 .

中国专利 :CN109564955A ,2019-04-02

[9]

成膜设备和成膜方法 [P].

川又由雄 .

中国专利 :CN101611164A ,2009-12-23

[10]

成膜设备及成膜方法 [P].

刘启富 .

中国专利 :CN109642314A ,2019-04-16

← 1 2 3 4 5 →