成膜装置以及成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080059579.9

申请日：

2010-12-20

公开(公告)号：

CN102686764B

公开(公告)日：

2012-09-19

发明(设计)人：

深尾万里菊地博

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

H01L5150 H05B3310

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

崔幼平;杨楷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-04	授权	授权
2012-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101346527605 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2010800595799 申请日:20101220
2012-09-19	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法以及成膜装置 [P].

绢田精镇 .

中国专利 :CN109287117A ,2019-01-29

[2]

成膜装置以及成膜方法 [P].

足立将树 .

日本专利 :CN118814114A ,2024-10-22

[3]

成膜装置、成膜系统以及成膜方法 [P].

品田正人 ;

户岛宏至 .

中国专利 :CN110819949A ,2020-02-21

[4]

成膜方法、成膜系统以及成膜装置 [P].

山口克昌 ;

前川浩治 ;

鲛岛崇 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN112292476A ,2021-01-29

[5]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小野大祐 ;

伊藤昭彦 .

中国专利 :CN111850471A ,2020-10-30

[6]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小平周司 ;

吉浜知之 ;

镰田恒吉 ;

堀田和正 ;

滨口纯一 ;

中西茂雄 ;

丰田聪 .

中国专利 :CN102471877A ,2012-05-23

[7]

成膜装置以及成膜方法 [P].

谷典明 ;

森中泰三 ;

铃木寿弘 ;

松本昌弘 .

中国专利 :CN1957106B ,2007-05-02

[8]

成膜装置以及成膜方法 [P].

尾崎悟 ;

徳嵩佑 .

中国专利 :CN105555995B ,2016-05-04

[9]

成膜方法以及成膜装置 [P].

我妻雄一郎 ;

金子都 ;

野吕尚孝 .

中国专利 :CN109423625A ,2019-03-05

[10]

成膜方法以及成膜装置 [P].

古谷弘 ;

西林道生 ;

中泽诚一 ;

三谷慎一 .

中国专利 :CN100459033C ,2007-06-06

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