成膜装置以及成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410424637.7

申请日：

2024-04-10

公开(公告)号：

CN118814114A

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

足立将树

申请人：

佳能特机株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/50 C23C14/54 H10K71/16

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

邓宗庆

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜装置、成膜系统以及成膜方法 [P].

品田正人 ;

户岛宏至 .

中国专利 :CN110819949A ,2020-02-21

[2]

成膜装置以及成膜方法 [P].

深尾万里 ;

菊地博 .

中国专利 :CN102686764B ,2012-09-19

[3]

成膜装置以及成膜方法 [P].

青沼大介 ;

安川英宏 ;

市原正浩 ;

长冈健 .

日本专利 :CN120225722A ,2025-06-27

[4]

成膜方法以及成膜装置 [P].

绢田精镇 .

中国专利 :CN109287117A ,2019-01-29

[5]

成膜装置以及成膜方法 [P].

大城健一 ;

佐藤强 ;

德本隆男 ;

夏贞雄 ;

岩崎聪一郎 .

中国专利 :CN101905205A ,2010-12-08

[6]

成膜装置以及成膜方法 [P].

青沼大介 ;

安川英宏 ;

市原正浩 ;

长冈健 .

日本专利 :CN120225721A ,2025-06-27

[7]

成膜方法、成膜系统以及成膜装置 [P].

山口克昌 ;

前川浩治 ;

鲛岛崇 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN112292476A ,2021-01-29

[8]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小野大祐 ;

伊藤昭彦 .

中国专利 :CN111850471A ,2020-10-30

[9]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小平周司 ;

吉浜知之 ;

镰田恒吉 ;

堀田和正 ;

滨口纯一 ;

中西茂雄 ;

丰田聪 .

中国专利 :CN102471877A ,2012-05-23

[10]

成膜装置以及成膜方法 [P].

谷典明 ;

森中泰三 ;

铃木寿弘 ;

松本昌弘 .

中国专利 :CN1957106B ,2007-05-02

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