成膜装置以及成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010200797.1

申请日：

2010-06-08

公开(公告)号：

CN101905205A

公开(公告)日：

2010-12-08

发明(设计)人：

大城健一佐藤强德本隆男夏贞雄岩崎聪一郎

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B05B1304

IPC分类号：

B05B1502 B05B904 B05D102 B05D140 H01L2100

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

张斯盾

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-12-08	公开	公开
2021-08-13	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B05B 13/04 登记生效日:20210803 变更事项:专利权人变更前权利人:株式会社东芝变更后权利人:株式会社东芝变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都变更事项:专利权人变更前权利人:中外炉工业株式会社
2011-01-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101032114185 IPC(主分类):B05B 13/04 专利申请号:2010102007971 申请日:20100608
2015-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜装置、成膜系统以及成膜方法 [P].

品田正人 ;

户岛宏至 .

中国专利 :CN110819949A ,2020-02-21

[2]

成膜装置以及成膜方法 [P].

中岛直人 ;

羽田浩二 ;

吉野裕文 .

中国专利 :CN104947067B ,2015-09-30

[3]

成膜装置以及成膜方法 [P].

三田浩史 ;

南云英一 ;

斋藤诚 .

中国专利 :CN105986252A ,2016-10-05

[4]

成膜装置以及成膜方法 [P].

青沼大介 ;

安川英宏 ;

市原正浩 ;

长冈健 .

日本专利 :CN120225722A ,2025-06-27

[5]

成膜装置以及成膜方法 [P].

足立将树 .

日本专利 :CN118814114A ,2024-10-22

[6]

成膜装置以及成膜方法 [P].

青沼大介 ;

安川英宏 ;

市原正浩 ;

长冈健 .

日本专利 :CN120225721A ,2025-06-27

[7]

成膜方法、成膜系统以及成膜装置 [P].

山口克昌 ;

前川浩治 ;

鲛岛崇 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN112292476A ,2021-01-29

[8]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小野大祐 ;

伊藤昭彦 .

中国专利 :CN111850471A ,2020-10-30

[9]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小平周司 ;

吉浜知之 ;

镰田恒吉 ;

堀田和正 ;

滨口纯一 ;

中西茂雄 ;

丰田聪 .

中国专利 :CN102471877A ,2012-05-23

[10]

成膜装置以及成膜方法 [P].

谷典明 ;

森中泰三 ;

铃木寿弘 ;

松本昌弘 .

中国专利 :CN1957106B ,2007-05-02

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