成膜装置以及成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510131930.5

申请日：

2015-03-25

公开(公告)号：

CN104947067B

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

中岛直人羽田浩二吉野裕文

申请人：

申请人地址：

日本国京都府京都市

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16458 C23C1644

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

宋晓宝;向勇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-30	公开	公开
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631734003 IPC(主分类):C23C 16/27 专利申请号:2015101319305 申请日:20150325
2017-08-22	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜方法以及成膜装置 [P].

我妻雄一郎 ;

金子都 ;

野吕尚孝 .

中国专利 :CN109423625A ,2019-03-05

[2]

成膜装置以及成膜方法 [P].

三田浩史 ;

南云英一 ;

斋藤诚 .

中国专利 :CN105986252A ,2016-10-05

[3]

成膜装置以及成膜方法 [P].

大城健一 ;

佐藤强 ;

德本隆男 ;

夏贞雄 ;

岩崎聪一郎 .

中国专利 :CN101905205A ,2010-12-08

[4]

成膜装置、成膜系统以及成膜方法 [P].

品田正人 ;

户岛宏至 .

中国专利 :CN110819949A ,2020-02-21

[5]

成膜方法、成膜系统以及成膜装置 [P].

山口克昌 ;

前川浩治 ;

鲛岛崇 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN112292476A ,2021-01-29

[6]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小野大祐 ;

伊藤昭彦 .

中国专利 :CN111850471A ,2020-10-30

[7]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小平周司 ;

吉浜知之 ;

镰田恒吉 ;

堀田和正 ;

滨口纯一 ;

中西茂雄 ;

丰田聪 .

中国专利 :CN102471877A ,2012-05-23

[8]

成膜装置以及成膜方法 [P].

谷典明 ;

森中泰三 ;

铃木寿弘 ;

松本昌弘 .

中国专利 :CN1957106B ,2007-05-02

[9]

成膜装置以及成膜方法 [P].

尾崎悟 ;

徳嵩佑 .

中国专利 :CN105555995B ,2016-05-04

[10]

成膜方法以及成膜装置 [P].

古谷弘 ;

西林道生 ;

中泽诚一 ;

三谷慎一 .

中国专利 :CN100459033C ,2007-06-06

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