成膜方法以及成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610163091.6

申请日：

2006-11-30

公开(公告)号：

CN100459033C

公开(公告)日：

2007-06-06

发明(设计)人：

古谷弘西林道生中泽诚一三谷慎一

申请人：

申请人地址：

日本静冈县

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2120 H01L21203 H01L21205 H01L2131 H01L213205 H01L21283 H01L21285 C23C1600 C23C16455 C23C1400 C30B2500 C30B2514 C30B2300

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

胡建新

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

成膜装置以及成膜方法 [P].

竹泽由裕 ;

坂下训康 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN108220921A ,2018-06-29

[2]

成膜装置、成膜系统以及成膜方法 [P].

品田正人 ;

户岛宏至 .

中国专利 :CN110819949A ,2020-02-21

[3]

成膜方法、成膜系统以及成膜装置 [P].

山口克昌 ;

前川浩治 ;

鲛岛崇 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN112292476A ,2021-01-29

[4]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小野大祐 ;

伊藤昭彦 .

中国专利 :CN111850471A ,2020-10-30

[5]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小平周司 ;

吉浜知之 ;

镰田恒吉 ;

堀田和正 ;

滨口纯一 ;

中西茂雄 ;

丰田聪 .

中国专利 :CN102471877A ,2012-05-23

[6]

成膜装置以及成膜方法 [P].

谷典明 ;

森中泰三 ;

铃木寿弘 ;

松本昌弘 .

中国专利 :CN1957106B ,2007-05-02

[7]

成膜装置以及成膜方法 [P].

尾崎悟 ;

徳嵩佑 .

中国专利 :CN105555995B ,2016-05-04

[8]

成膜方法以及成膜装置 [P].

我妻雄一郎 ;

金子都 ;

野吕尚孝 .

中国专利 :CN109423625A ,2019-03-05

[9]

成膜装置以及成膜方法 [P].

中岛直人 ;

羽田浩二 ;

吉野裕文 .

中国专利 :CN104947067B ,2015-09-30

[10]

成膜装置以及成膜方法 [P].

徳嵩佑 ;

尾崎悟 ;

吉冈尚规 ;

田中优 ;

西原隆治 .

中国专利 :CN106498371A ,2017-03-15

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20061130 授权公告日:20090204 终止日期:20171130
2007-06-06	公开	公开
2007-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-02-04	授权	授权
2013-11-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101673858188 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2006101630916 变更事项:专利权人变更前:纽富来科技股份有限公司变更后:纽富来科技股份有限公司变更事项:地址变更前:日本静冈县变更后:日本神奈川县