底座以及成膜设备

被引：0

申请号：

CN202122994796.5

申请日：

2021-11-30

公开(公告)号：

CN217202950U

公开(公告)日：

2022-08-16

发明(设计)人：

邹峰詹绍原杨云飞陈龙周超

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C16455 C23C1646 C23C1634 C23C1640

代理机构：

北京恒博知识产权代理有限公司 11528

代理人：

张琦

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-16	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜设备以及成膜方法 [P].

吉冈润一郎 ;

堀江邦明 ;

南部信政 .

中国专利 :CN101842511A ,2010-09-22

[2]

成膜设备以及成膜方法 [P].

伊藤孝浩 ;

中岛健次 .

中国专利 :CN102232240A ,2011-11-02

[3]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN115427606B ,2024-01-02

[4]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

中国专利 :CN115427606A ,2022-12-02

[5]

成膜设备、控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN117535632A ,2024-02-09

[6]

成膜厚度的测量装置以及成膜设备 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN108950511A ,2018-12-07

[7]

成膜用旋转模头以及成膜设备 [P].

贾奎 ;

刘志海 ;

杨胜贤 ;

陈振 ;

文元庆 .

中国专利 :CN212242058U ,2020-12-29

[8]

成膜设备 [P].

上之园隆秀 .

中国专利 :CN102549190A ,2012-07-04

[9]

成膜设备 [P].

赵利豪 ;

田彪 .

中国专利 :CN207452248U ,2018-06-05

[10]

成膜设备 [P].

陈广飞 ;

刘大刚 ;

刘峰 .

中国专利 :CN206768212U ,2017-12-19

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