成膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721095745.6

申请日：

2017-08-29

公开(公告)号：

CN207452248U

公开(公告)日：

2018-06-05

发明(设计)人：

赵利豪田彪

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C16513

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

郭润湘

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-05	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜设备 [P].

赵利豪 ;

田彪 .

中国专利 :CN107326340A ,2017-11-07

[2]

成膜设备 [P].

陈广飞 ;

刘大刚 ;

刘峰 .

中国专利 :CN206768212U ,2017-12-19

[3]

成膜设备 [P].

刘红林 .

中国专利 :CN206666639U ,2017-11-24

[4]

电极成膜设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223161237U ,2025-07-29

[5]

电极成膜设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223302065U ,2025-09-05

[6]

蒸发源、成膜设备及其成膜方法 [P].

张金中 ;

秦向东 .

中国专利 :CN104328377B ,2015-02-04

[7]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN115427606B ,2024-01-02

[8]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

中国专利 :CN115427606A ,2022-12-02

[9]

成膜用旋转模头以及成膜设备 [P].

贾奎 ;

刘志海 ;

杨胜贤 ;

陈振 ;

文元庆 .

中国专利 :CN212242058U ,2020-12-29

[10]

半导体成膜设备 [P].

祝家伟 ;

周智东 .

中国专利 :CN210575851U ,2020-05-19

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