成膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710757132.2

申请日：

2017-08-29

公开(公告)号：

CN107326340A

公开(公告)日：

2017-11-07

发明(设计)人：

赵利豪田彪

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C16513

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

郭润湘

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-07	公开	公开
2017-12-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20170829

共 50 条

[1]

成膜设备 [P].

赵利豪 ;

田彪 .

中国专利 :CN207452248U ,2018-06-05

[2]

蒸发源、成膜设备及其成膜方法 [P].

张金中 ;

秦向东 .

中国专利 :CN104328377B ,2015-02-04

[3]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN115427606B ,2024-01-02

[4]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

中国专利 :CN115427606A ,2022-12-02

[5]

成膜设备 [P].

上之园隆秀 .

中国专利 :CN102549190A ,2012-07-04

[6]

成膜设备 [P].

陈广飞 ;

刘大刚 ;

刘峰 .

中国专利 :CN206768212U ,2017-12-19

[7]

成膜设备 [P].

刘红林 .

中国专利 :CN206666639U ,2017-11-24

[8]

成膜设备 [P].

陈志嵩 ;

李翔 ;

左敏 .

中国专利 :CN119243112A ,2025-01-03

[9]

成膜设备 [P].

长谷川昌孝 .

中国专利 :CN102191488A ,2011-09-21

[10]

成膜设备以及成膜方法 [P].

吉冈润一郎 ;

堀江邦明 ;

南部信政 .

中国专利 :CN101842511A ,2010-09-22

← 1 2 3 4 5 →