成膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720660632.X

申请日：

2017-06-08

公开(公告)号：

CN206768212U

公开(公告)日：

2017-12-19

发明(设计)人：

陈广飞刘大刚刘峰

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区工业园内

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

柴亮;张天舒

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-19	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜设备 [P].

赵利豪 ;

田彪 .

中国专利 :CN207452248U ,2018-06-05

[2]

成膜设备 [P].

刘红林 .

中国专利 :CN206666639U ,2017-11-24

[3]

基底支持组件、成膜设备 [P].

孙朴 ;

吴文泽 ;

刘德健 ;

曹飞 .

中国专利 :CN207159344U ,2018-03-30

[4]

成膜冷却装置及成膜设备 [P].

李铭领 ;

刘欣 ;

黄起森 ;

刘向辉 ;

蔡启果 ;

李铖 .

中国专利 :CN221223127U ,2024-06-25

[5]

电极成膜设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223161237U ,2025-07-29

[6]

电极成膜设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223302065U ,2025-09-05

[7]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN115427606B ,2024-01-02

[8]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

中国专利 :CN115427606A ,2022-12-02

[9]

成膜用旋转模头以及成膜设备 [P].

贾奎 ;

刘志海 ;

杨胜贤 ;

陈振 ;

文元庆 .

中国专利 :CN212242058U ,2020-12-29

[10]

半导体成膜设备 [P].

祝家伟 ;

周智东 .

中国专利 :CN210575851U ,2020-05-19

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