成膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720323995.4

申请日：

2017-03-30

公开(公告)号：

CN206666639U

公开(公告)日：

2017-11-24

发明(设计)人：

刘红林

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市江苏省昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-24	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜设备 [P].

赵利豪 ;

田彪 .

中国专利 :CN207452248U ,2018-06-05

[2]

成膜设备 [P].

陈广飞 ;

刘大刚 ;

刘峰 .

中国专利 :CN206768212U ,2017-12-19

[3]

成膜设备 [P].

长谷川昌孝 .

中国专利 :CN102191488A ,2011-09-21

[4]

成膜设备和成膜方法 [P].

川又由雄 .

中国专利 :CN101611164A ,2009-12-23

[5]

电极成膜设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223161237U ,2025-07-29

[6]

电极成膜设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223302065U ,2025-09-05

[7]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN115427606B ,2024-01-02

[8]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

中国专利 :CN115427606A ,2022-12-02

[9]

成膜用旋转模头以及成膜设备 [P].

贾奎 ;

刘志海 ;

杨胜贤 ;

陈振 ;

文元庆 .

中国专利 :CN212242058U ,2020-12-29

[10]

膜厚监测装置、成膜设备 [P].

晏荣建 ;

王志东 ;

张俊瑞 .

中国专利 :CN109136856A ,2019-01-04

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