基底支持组件、成膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721142136.1

申请日：

2017-09-07

公开(公告)号：

CN207159344U

公开(公告)日：

2018-03-30

发明(设计)人：

孙朴吴文泽刘德健曹飞

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1404 C23C1424

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

柴亮;张天舒

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-30	授权	授权

共 50 条

[1]

基底支持组件、成膜设备和方法 [P].

孙朴 ;

吴文泽 ;

刘德健 ;

曹飞 .

中国专利 :CN107365972B ,2017-11-21

[2]

成膜设备 [P].

陈广飞 ;

刘大刚 ;

刘峰 .

中国专利 :CN206768212U ,2017-12-19

[3]

成膜设备 [P].

赵利豪 ;

田彪 .

中国专利 :CN207452248U ,2018-06-05

[4]

成膜设备 [P].

刘红林 .

中国专利 :CN206666639U ,2017-11-24

[5]

成膜设备及成膜方法 [P].

欧建兵 .

中国专利 :CN109564955A ,2019-04-02

[6]

成膜冷却装置及成膜设备 [P].

李铭领 ;

刘欣 ;

黄起森 ;

刘向辉 ;

蔡启果 ;

李铖 .

中国专利 :CN221223127U ,2024-06-25

[7]

电极成膜设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223161237U ,2025-07-29

[8]

电极成膜设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223302065U ,2025-09-05

[9]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN115427606B ,2024-01-02

[10]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

中国专利 :CN115427606A ,2022-12-02

← 1 2 3 4 5 →