基底支持组件、成膜设备和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710800465.9

申请日：

2017-09-07

公开(公告)号：

CN107365972B

公开(公告)日：

2017-11-21

发明(设计)人：

孙朴吴文泽刘德健曹飞

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1404 C23C1424

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

柴亮;张天舒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-21	公开	公开
2022-06-28	授权	授权
2017-12-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20170907

共 50 条

[1]

基底支持组件、成膜设备 [P].

孙朴 ;

吴文泽 ;

刘德健 ;

曹飞 .

中国专利 :CN207159344U ,2018-03-30

[2]

成膜设备和成膜方法 [P].

川又由雄 .

中国专利 :CN101611164A ,2009-12-23

[3]

一种成膜设备和成膜方法 [P].

林伟华 ;

魏明蕊 ;

刘科学 ;

王玉霞 .

中国专利 :CN111696848A ,2020-09-22

[4]

成膜设备及成膜方法 [P].

欧建兵 .

中国专利 :CN109564955A ,2019-04-02

[5]

成膜设备和使用该成膜设备的成膜方法 [P].

出村和哉 ;

堀江贵将 ;

小林宽之 .

中国专利 :CN110735122A ,2020-01-31

[6]

成膜设备 [P].

陈广飞 ;

刘大刚 ;

刘峰 .

中国专利 :CN206768212U ,2017-12-19

[7]

阴极组件和成膜装置 [P].

品田正人 ;

E·N·阿瓦拉 .

中国专利 :CN113337797A ,2021-09-03

[8]

成膜设备、成膜方法和制造物品的方法 [P].

山本武 .

日本专利 :CN115679253B ,2025-10-28

[9]

成膜设备、成膜方法和制造物品的方法 [P].

山本武 .

中国专利 :CN115679253A ,2023-02-03

[10]

成膜设备、成膜方法和发光元件的制造方法 [P].

山崎舜平 ;

坂田淳一郎 ;

山本孔明 ;

片山视喜 ;

横山浩平 ;

松原里枝 ;

川上贵洋 .

中国专利 :CN101016618A ,2007-08-15

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