成膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080037760.X

申请日：

2010-08-25

公开(公告)号：

CN102549190A

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

上之园隆秀

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

G02F113

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101700013928 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:201080037760X 申请公布日:20120704
2012-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101322517499 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:201080037760X 申请日:20100825
2012-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

日本专利 :CN115427606B ,2024-01-02

[2]

成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法 [P].

药师神弘士 ;

坂本怜士 ;

芝本雅弘 .

中国专利 :CN115427606A ,2022-12-02

[3]

成膜设备 [P].

赵利豪 ;

田彪 .

中国专利 :CN207452248U ,2018-06-05

[4]

成膜设备 [P].

陈广飞 ;

刘大刚 ;

刘峰 .

中国专利 :CN206768212U ,2017-12-19

[5]

成膜设备 [P].

赵利豪 ;

田彪 .

中国专利 :CN107326340A ,2017-11-07

[6]

成膜设备 [P].

刘红林 .

中国专利 :CN206666639U ,2017-11-24

[7]

成膜设备 [P].

陈志嵩 ;

李翔 ;

左敏 .

中国专利 :CN119243112A ,2025-01-03

[8]

成膜设备 [P].

长谷川昌孝 .

中国专利 :CN102191488A ,2011-09-21

[9]

成膜设备以及成膜方法 [P].

吉冈润一郎 ;

堀江邦明 ;

南部信政 .

中国专利 :CN101842511A ,2010-09-22

[10]

成膜设备及成膜方法 [P].

欧建兵 .

中国专利 :CN109564955A ,2019-04-02

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