一种半导体镀膜设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202321647358.4
申请日
2023-06-27
公开(公告)号
CN220716885U
公开(公告)日
2024-04-05
发明(设计)人
南炳允 张小强 刘载安
申请人
东领科技装备有限公司
申请人地址
215212 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号2号研发楼101室
IPC主分类号
B08B1/30
IPC分类号
B08B15/04
代理机构
北京中企讯专利代理事务所(普通合伙) 11677
代理人
马鹏程
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体加工用镀膜设备 [P]. 
王茂荣 .
中国专利 :CN223612377U ,2025-11-28
[2]
一种半导体镀膜设备 [P]. 
王丹丹 ;
李真颜 ;
刘彤 .
中国专利 :CN220703786U ,2024-04-02
[3]
一种半导体镀膜设备 [P]. 
吴纯丽 ;
李恩明 ;
潘鹭芳 .
中国专利 :CN222407148U ,2025-01-28
[4]
一种半导体加工用镀膜设备 [P]. 
施振潮 .
中国专利 :CN223556338U ,2025-11-18
[5]
一种半导体加工用镀膜设备 [P]. 
杨志勇 ;
刘芳军 ;
张桂阳 .
中国专利 :CN221982792U ,2024-11-12
[6]
半导体镀膜设备 [P]. 
贺红君 .
中国专利 :CN213752648U ,2021-07-20
[7]
一种便于清理的半导体镀膜设备 [P]. 
舒波 ;
洪滔 ;
程浩东 ;
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[8]
半导体生产镀膜设备 [P]. 
贺妍 ;
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[9]
一种半导体镀膜设备 [P]. 
杨创华 ;
王官奇 ;
蒋媛 ;
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[10]
一种半导体镀膜设备 [P]. 
钱大富 ;
龙勇亮 ;
易维 ;
钱大勇 ;
封文彬 .
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