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一种半导体镀膜设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202321647358.4
申请日
:
2023-06-27
公开(公告)号
:
CN220716885U
公开(公告)日
:
2024-04-05
发明(设计)人
:
南炳允
张小强
刘载安
申请人
:
东领科技装备有限公司
申请人地址
:
215212 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号2号研发楼101室
IPC主分类号
:
B08B1/30
IPC分类号
:
B08B15/04
代理机构
:
北京中企讯专利代理事务所(普通合伙) 11677
代理人
:
马鹏程
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-04-05
授权
授权
共 50 条
[1]
一种半导体加工用镀膜设备
[P].
王茂荣
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
江苏钰晶半导体科技有限公司
江苏钰晶半导体科技有限公司
王茂荣
.
中国专利
:CN223612377U
,2025-11-28
[2]
一种半导体镀膜设备
[P].
王丹丹
论文数:
0
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0
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机构:
苏州恒芯微电子有限公司
苏州恒芯微电子有限公司
王丹丹
;
李真颜
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0
机构:
苏州恒芯微电子有限公司
苏州恒芯微电子有限公司
李真颜
;
刘彤
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0
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0
机构:
苏州恒芯微电子有限公司
苏州恒芯微电子有限公司
刘彤
.
中国专利
:CN220703786U
,2024-04-02
[3]
一种半导体镀膜设备
[P].
吴纯丽
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机构:
泰格微芯(福建)科技有限公司
泰格微芯(福建)科技有限公司
吴纯丽
;
李恩明
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机构:
泰格微芯(福建)科技有限公司
泰格微芯(福建)科技有限公司
李恩明
;
潘鹭芳
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机构:
泰格微芯(福建)科技有限公司
泰格微芯(福建)科技有限公司
潘鹭芳
.
中国专利
:CN222407148U
,2025-01-28
[4]
一种半导体加工用镀膜设备
[P].
施振潮
论文数:
0
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0
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机构:
广东科辉半导体有限公司
广东科辉半导体有限公司
施振潮
.
中国专利
:CN223556338U
,2025-11-18
[5]
一种半导体加工用镀膜设备
[P].
杨志勇
论文数:
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机构:
扬州思普尔科技有限公司
扬州思普尔科技有限公司
杨志勇
;
刘芳军
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机构:
扬州思普尔科技有限公司
扬州思普尔科技有限公司
刘芳军
;
张桂阳
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机构:
扬州思普尔科技有限公司
扬州思普尔科技有限公司
张桂阳
.
中国专利
:CN221982792U
,2024-11-12
[6]
半导体镀膜设备
[P].
贺红君
论文数:
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贺红君
.
中国专利
:CN213752648U
,2021-07-20
[7]
一种便于清理的半导体镀膜设备
[P].
舒波
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机构:
安合鑫光电科技(苏州)有限公司
安合鑫光电科技(苏州)有限公司
舒波
;
洪滔
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机构:
安合鑫光电科技(苏州)有限公司
安合鑫光电科技(苏州)有限公司
洪滔
;
程浩东
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机构:
安合鑫光电科技(苏州)有限公司
安合鑫光电科技(苏州)有限公司
程浩东
;
包瑞
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机构:
安合鑫光电科技(苏州)有限公司
安合鑫光电科技(苏州)有限公司
包瑞
.
中国专利
:CN220920104U
,2024-05-10
[8]
半导体生产镀膜设备
[P].
贺妍
论文数:
0
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机构:
上海宸硕半导体材料有限公司
上海宸硕半导体材料有限公司
贺妍
;
冷若菲
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机构:
上海宸硕半导体材料有限公司
上海宸硕半导体材料有限公司
冷若菲
.
中国专利
:CN220999822U
,2024-05-24
[9]
一种半导体镀膜设备
[P].
杨创华
论文数:
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杨创华
;
王官奇
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王官奇
;
蒋媛
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蒋媛
;
王楠
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王楠
.
中国专利
:CN115410959A
,2022-11-29
[10]
一种半导体镀膜设备
[P].
钱大富
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机构:
东莞市多为自动化科技有限公司
东莞市多为自动化科技有限公司
钱大富
;
龙勇亮
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机构:
东莞市多为自动化科技有限公司
东莞市多为自动化科技有限公司
龙勇亮
;
易维
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机构:
东莞市多为自动化科技有限公司
东莞市多为自动化科技有限公司
易维
;
钱大勇
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机构:
东莞市多为自动化科技有限公司
东莞市多为自动化科技有限公司
钱大勇
;
封文彬
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机构:
东莞市多为自动化科技有限公司
东莞市多为自动化科技有限公司
封文彬
.
中国专利
:CN117512526A
,2024-02-06
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