一种干膜抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110460509.4

申请日：

2021-04-27

公开(公告)号：

CN113176706B

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

袁丽朱高华吴佳丰李伟杰钱伟强

申请人：

杭州福斯特电子材料有限公司

申请人地址：

310000 浙江省杭州市临安区锦北街道福斯特街8号1幢212

IPC主分类号：

G03F7/027

IPC分类号：

代理机构：

浙江千克知识产权代理有限公司 33246

代理人：

裴金华

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种干膜抗蚀剂组合物 [P].

袁丽 ;

朱高华 ;

吴佳丰 ;

李伟杰 ;

钱伟强 .

中国专利 :CN113176706A ,2021-07-27

[2]

感光性抗蚀剂组合物和干膜抗蚀剂 [P].

李志强 ;

李伟杰 ;

詹志英 .

中国专利 :CN118112889A ,2024-05-31

[3]

干膜抗蚀剂组合物及干膜抗蚀剂层压体 [P].

袁丽 ;

朱高华 ;

李伟杰 ;

王康 .

中国专利 :CN113341647B ,2024-05-28

[4]

干膜抗蚀剂组合物及干膜抗蚀剂层压体 [P].

袁丽 ;

朱高华 ;

李伟杰 ;

王康 .

中国专利 :CN113341647A ,2021-09-03

[5]

感光树脂组合物及干膜抗蚀剂 [P].

朱薛妍 ;

韩传龙 ;

李志强 ;

李伟杰 .

中国专利 :CN117908331A ,2024-04-19

[6]

一种感光树脂组合物、干膜抗蚀剂层叠体及其应用 [P].

朱高华 ;

袁丽 ;

李伟杰 ;

吴佳丰 .

中国专利 :CN118584749A ,2024-09-03

[7]

感光干膜抗蚀剂、感光干膜及应用 [P].

肖志义 ;

党泽龑 ;

毛灿 ;

安德烈 ;

张念琦 .

中国专利 :CN118466118B ,2024-10-29

[8]

感光干膜抗蚀剂、感光干膜及应用 [P].

肖志义 ;

党泽龑 ;

毛灿 ;

安德烈 ;

张念琦 .

中国专利 :CN118466118A ,2024-08-09

[9]

一种干膜抗蚀剂 [P].

李志强 ;

李伟杰 ;

严晓慧 ;

周光大 ;

林建华 .

中国专利 :CN104730863B ,2015-06-24

[10]

一种感光树脂组合物及干膜抗蚀剂层压体 [P].

詹志英 ;

李志强 ;

李伟杰 ;

宋赣军 .

中国专利 :CN114839836A ,2022-08-02

← 1 2 3 4 5 →