一种干膜抗蚀剂

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410610604.8
申请日
2014-11-03
公开(公告)号
CN104730863B
公开(公告)日
2015-06-24
发明(设计)人
李志强 李伟杰 严晓慧 周光大 林建华
申请人
申请人地址
311300 浙江省杭州市临安市锦北街道保锦路
IPC主分类号
G03F7027
IPC分类号
G03F7004 C08F22006 C08F22014 C08F22018 C08F22030 C08F22034 C08F21208
代理机构
杭州求是专利事务所有限公司 33200
代理人
邱启旺
法律状态
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共 50 条
[1]
一种干膜光致抗蚀剂 [P]. 
严晓慧 ;
李伟杰 ;
黄森彪 ;
周光大 ;
林建华 .
中国专利 :CN105629662A ,2016-06-01
[2]
一种干膜抗蚀剂组合物 [P]. 
袁丽 ;
朱高华 ;
吴佳丰 ;
李伟杰 ;
钱伟强 .
中国专利 :CN113176706A ,2021-07-27
[3]
一种干膜抗蚀剂组合物 [P]. 
袁丽 ;
朱高华 ;
吴佳丰 ;
李伟杰 ;
钱伟强 .
中国专利 :CN113176706B ,2024-05-28
[4]
一种感光树脂组合物及其干膜抗蚀剂 [P]. 
朱薛妍 ;
傅明 ;
李志强 ;
李伟杰 .
中国专利 :CN111965939A ,2020-11-20
[5]
感光性抗蚀剂组合物和干膜抗蚀剂 [P]. 
李志强 ;
李伟杰 ;
詹志英 .
中国专利 :CN118112889A ,2024-05-31
[6]
一种干膜抗蚀剂 [P]. 
严晓慧 ;
李伟杰 ;
张浙南 .
中国专利 :CN113126434A ,2021-07-16
[7]
干膜抗蚀剂 [P]. 
有久慎司 ;
冈田祐二 .
中国专利 :CN101075090A ,2007-11-21
[8]
干膜抗蚀剂和感光干膜 [P]. 
朱高华 ;
袁丽 ;
李伟杰 ;
吴佳丰 .
中国专利 :CN114755889B ,2024-12-31
[9]
干膜抗蚀剂和感光干膜 [P]. 
朱高华 ;
袁丽 ;
李伟杰 ;
吴佳丰 .
中国专利 :CN114755889A ,2022-07-15
[10]
干膜抗蚀剂及其制备方法与应用 [P]. 
肖志义 ;
党泽龑 ;
毛灿 ;
王爱军 ;
安德烈 .
中国专利 :CN118393814A ,2024-07-26