一种干膜光致抗蚀剂

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511030970.7

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN105629662A

公开(公告)日：

2016-06-01

发明(设计)人：

严晓慧李伟杰黄森彪周光大林建华

申请人：

申请人地址：

311300 浙江省杭州市临安市锦北街道保锦路

IPC主分类号：

G03F7027

IPC分类号：

G03F7004

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

邱启旺

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101667891572 IPC(主分类):G03F 7/027 专利申请号:2015110309707 申请日:20151231
2017-06-27	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754428308 IPC(主分类):G03F 7/027 专利申请号:2015110309707 变更事项:申请人变更前:杭州福斯特光伏材料股份有限公司变更后:杭州福斯特应用材料股份有限公司变更事项:地址变更前:311300 浙江省杭州市临安市锦北街道保锦路变更后:311300 浙江省杭州市临安市锦北街道保锦路
2019-09-10	授权	授权
2016-06-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种干膜抗蚀剂 [P].

李志强 ;

李伟杰 ;

严晓慧 ;

周光大 ;

林建华 .

中国专利 :CN104730863B ,2015-06-24

[2]

干膜光致抗蚀剂 [P].

高桥秀知 ;

田代朋子 .

中国专利 :CN1627189A ,2005-06-15

[3]

干膜光致抗蚀剂及其制备方法 [P].

李兆辉 .

中国专利 :CN101441416B ,2009-05-27

[4]

干膜光致抗蚀剂 [P].

文熙岏 ;

奉东勋 ;

石想勋 .

中国专利 :CN102549499B ,2012-07-04

[5]

干膜光致抗蚀剂 [P].

石想勋 ;

文熙岏 ;

奉东勋 ;

李炳逸 ;

韩国贤 ;

赵承济 ;

崔钟昱 .

中国专利 :CN102549500B ,2012-07-04

[6]

一种干膜光致抗蚀剂及其应用 [P].

王全勇 ;

宋斌 ;

麦裕良 .

中国专利 :CN111123647A ,2020-05-08

[7]

干膜抗蚀剂 [P].

有久慎司 ;

冈田祐二 .

中国专利 :CN101075090A ,2007-11-21

[8]

干膜抗蚀剂及其制备方法与应用 [P].

肖志义 ;

党泽龑 ;

毛灿 ;

王爱军 ;

安德烈 .

中国专利 :CN118393814A ,2024-07-26

[9]

正型干膜光致抗蚀剂 [P].

金炳基 ;

朴世炯 ;

朴钟旼 ;

白圣寅 .

中国专利 :CN101073035A ,2007-11-14

[10]

干膜抗蚀剂及其制备方法与应用 [P].

肖志义 ;

党泽龑 ;

毛灿 ;

王爱军 ;

安德烈 .

中国专利 :CN118393814B ,2024-11-05

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