一种干膜光致抗蚀剂及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010035171.3

申请日：

2020-01-14

公开(公告)号：

CN111123647A

公开(公告)日：

2020-05-08

发明(设计)人：

王全勇宋斌麦裕良

申请人：

申请人地址：

510665 广东省广州市天河区车陂西路318号

IPC主分类号：

G03F7027

IPC分类号：

G03F7004 H05K306

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

林德强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-08	公开	公开
2020-06-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/027 申请日:20200114

共 50 条

[1]

干膜光致抗蚀剂及其制备方法 [P].

李兆辉 .

中国专利 :CN101441416B ,2009-05-27

[2]

一种含水性感光树脂及其光致抗蚀剂干膜 [P].

刘罡 .

中国专利 :CN113419403A ,2021-09-21

[3]

一种干膜光致抗蚀剂 [P].

严晓慧 ;

李伟杰 ;

黄森彪 ;

周光大 ;

林建华 .

中国专利 :CN105629662A ,2016-06-01

[4]

干膜光致抗蚀剂 [P].

高桥秀知 ;

田代朋子 .

中国专利 :CN1627189A ,2005-06-15

[5]

一种液体光致抗蚀剂 [P].

朱刘 ;

慎微 ;

吴康贤 .

中国专利 :CN1227354A ,1999-09-01

[6]

干膜光致抗蚀剂 [P].

文熙岏 ;

奉东勋 ;

石想勋 .

中国专利 :CN102549499B ,2012-07-04

[7]

干膜光致抗蚀剂 [P].

石想勋 ;

文熙岏 ;

奉东勋 ;

李炳逸 ;

韩国贤 ;

赵承济 ;

崔钟昱 .

中国专利 :CN102549500B ,2012-07-04

[8]

一种干膜抗蚀剂组合物 [P].

袁丽 ;

朱高华 ;

吴佳丰 ;

李伟杰 ;

钱伟强 .

中国专利 :CN113176706A ,2021-07-27

[9]

一种干膜抗蚀剂组合物 [P].

袁丽 ;

朱高华 ;

吴佳丰 ;

李伟杰 ;

钱伟强 .

中国专利 :CN113176706B ,2024-05-28

[10]

一种感光树脂组合物、干膜抗蚀剂层叠体及其应用 [P].

朱高华 ;

袁丽 ;

李伟杰 ;

吴佳丰 .

中国专利 :CN118584749A ,2024-09-03

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