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一种用于晶圆的定位装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322197194.6
申请日：
2023-08-15
公开(公告)号：
CN220543885U
公开(公告)日：
2024-02-27
发明(设计)人：
苏竑森
管士亚
申请人：
嘉芯闳扬半导体设备科技（浙江）有限公司
申请人地址：
314102 浙江省嘉兴市嘉善县西塘镇南苑西路999号4幢西侧
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
嘉兴尚正专利代理事务所(普通合伙) 33467
代理人：
赵文静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-27 | 授权 | 授权 |