形成耐腐蚀涂层的装置及形成耐腐蚀涂层的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211260848.9

申请日：

2022-10-14

公开(公告)号：

CN117926221A

公开(公告)日：

2024-04-26

发明(设计)人：

段蛟倪图强

申请人：

中微半导体设备（上海）股份有限公司

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/46 C23C16/505 C23C16/511 C23C16/30 C23C16/40

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司 31323

代理人：

贾慧琴;张静洁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20221014
2024-04-26	公开	公开

共 50 条

[1]

耐腐蚀涂层材料组合物和耐腐蚀涂层的制备方法 [P].

胡德华 .

中国专利 :CN105348990A ,2016-02-24

[2]

零部件、等离子体装置、形成耐腐蚀涂层的方法及其装置 [P].

段蛟 ;

郭盛 ;

杨桂林 .

中国专利 :CN113611589B ,2021-11-05

[3]

一种耐腐蚀涂层材料组合物和耐腐蚀涂层的制备方法 [P].

巫少芬 .

中国专利 :CN108610874A ,2018-10-02

[4]

一种耐腐蚀涂层材料组合物和耐腐蚀涂层的制备方法 [P].

巫少芬 .

中国专利 :CN108610873A ,2018-10-02

[5]

耐腐蚀涂层及其制备方法 [P].

张幸 ;

王建康 .

中国专利 :CN104060147A ,2014-09-24

[6]

耐腐蚀涂层及其制造方法 [P].

恩里科·博韦罗 ;

加桑·阿拉贝迪 .

中国专利 :CN109476935B ,2019-03-15

[7]

多层耐腐蚀涂层及包含该涂层的部件 [P].

黄金和 ;

赵哲宁 ;

翟树民 ;

董立峰 ;

曹柏文 ;

陈明洪 ;

孙其俊 ;

李国成 ;

陈义方 ;

李仕军 ;

单焕民 .

中国专利 :CN101875255A ,2010-11-03

[8]

非铬酸盐处理的耐腐蚀涂层 [P].

M.E.富尔索姆 ;

K.卡帕尔琴斯基 ;

S.C.埃默森 ;

M.A.克里斯曼 ;

张伟龙 ;

T.F.平克曼 ;

G.S.扎菲里斯 .

中国专利 :CN111171665A ,2020-05-19

[9]

一种耐腐蚀涂层的处理方法 [P].

孙祥 ;

王枫 ;

李文阁 .

中国专利 :CN119680853A ,2025-03-25

[10]

形成耐腐蚀涂层的方法、堵塞棒、及半导体零部件 [P].

朱生华 ;

王枫 ;

丛海 .

中国专利 :CN118186361A ,2024-06-14

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