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零部件、等离子体装置、形成耐腐蚀涂层的方法及其装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111169430.2
申请日：
2021-10-08
公开(公告)号：
CN113611589B
公开(公告)日：
2021-11-05
发明(设计)人：
段蛟 郭盛 杨桂林
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
C23C1402 C23C1602
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
徐雯琼;张静洁
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-11-23 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20211008
2021-12-24 授权 授权
2021-11-05 公开 公开
共 50 条
[1]
形成涂层的装置、零部件和等离子体装置 [P]. 
段蛟 ;
孙祥 ;
陈星建 ;
杨桂林 .
中国专利 :CN213905290U ,2021-08-06
[2]
耐腐蚀涂层形成方法和装置、等离子体零部件和反应装置 [P]. 
段蛟 ;
孙祥 ;
陈星建 ;
杜若昕 .
中国专利 :CN113808935A ,2021-12-17
[3]
形成涂层的装置和方法、零部件和等离子体装置 [P]. 
段蛟 ;
孙祥 ;
陈星建 ;
杨桂林 .
中国专利 :CN114678248B ,2025-08-08
[4]
形成涂层的装置和方法、零部件和等离子体装置 [P]. 
段蛟 ;
孙祥 ;
陈星建 ;
杨桂林 .
中国专利 :CN114678248A ,2022-06-28
[5]
半导体零部件、等离子体处理装置及耐腐蚀涂层形成方法 [P]. 
段蛟 ;
孙祥 ;
杨桂林 ;
陈星建 .
中国专利 :CN114068274B ,2025-01-07
[6]
半导体零部件、等离子体处理装置及耐腐蚀涂层形成方法 [P]. 
段蛟 ;
孙祥 ;
杨桂林 ;
陈星建 .
中国专利 :CN114068274A ,2022-02-18
[7]
耐腐蚀涂层制备方法、半导体零部件和等离子体反应装置 [P]. 
段蛟 .
中国专利 :CN114250436B ,2024-03-29
[8]
耐腐蚀涂层制备方法、半导体零部件和等离子体反应装置 [P]. 
段蛟 .
中国专利 :CN114250436A ,2022-03-29
[9]
耐腐蚀涂层的镀膜方法及等离子体刻蚀零部件和反应装置 [P]. 
孙祥 ;
段蛟 ;
陈星建 ;
杜若昕 .
中国专利 :CN113802094A ,2021-12-17
[10]
耐腐蚀涂层的镀膜方法及等离子体刻蚀零部件和反应装置 [P]. 
孙祥 ;
段蛟 ;
陈星建 ;
杜若昕 .
中国专利 :CN113802094B ,2024-04-05
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