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耐腐蚀涂层形成方法和装置、等离子体零部件和反应装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010548424.7
申请日：
2020-06-16
公开(公告)号：
CN113808935A
公开(公告)日：
2021-12-17
发明(设计)人：
段蛟
孙祥
陈星建
杜若昕
申请人：
申请人地址：
200120 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01L213065
IPC分类号：
H01L21308
代理机构：
深圳中创智财知识产权代理有限公司 44553
代理人：
文言;田宇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20200616 |
| 2021-12-17 | 公开 | 公开 |