共 50 条
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用于保持结构部分的保持装置和用于制造保持装置的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280043104.3
申请日：
2022-06-17
公开(公告)号：
CN117581159A
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
N·A·阿索普
B·施米特
C·M·韦伯
T·温明
朱建强
M·莫赫塔里
A·H·范斯海恩德尔
申请人：
ASML荷兰有限公司
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
王益
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-20 | 公开 | 公开 |
| 2024-07-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20220617 |