用于保持基板的保持装置、用于保持基板的载体以及用于从保持装置释放基板的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880098449.2

申请日：

2018-10-18

公开(公告)号：

CN112867809A

公开(公告)日：

2021-05-28

发明(设计)人：

西蒙·刘莱内尔·欣特舒斯特

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

B23Q308 C23C16458 H01L21687

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-28	公开	公开
2021-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20181018

共 50 条

[1]

基板保持构件、基板保持装置以及基板保持方法 [P].

户江由也 ;

下窄义行 ;

小川滋之 .

中国专利 :CN112750744A ,2021-05-04

[2]

用于保持基板的保持装置和方法 [P].

托马斯·格伦德 ;

赖纳·泰格斯 .

德国专利 :CN110544664B ,2024-10-11

[3]

用于保持基板的保持装置和方法 [P].

托马斯·格伦德 ;

赖纳·泰格斯 .

中国专利 :CN110544664A ,2019-12-06

[4]

基板保持装置以及基板保持方法 [P].

辻泽孝文 .

中国专利 :CN114121754A ,2022-03-01

[5]

基板保持装置以及基板保持方法 [P].

水野博喜 .

中国专利 :CN114203614A ,2022-03-18

[6]

基板保持装置以及基板保持方法 [P].

辻泽孝文 .

日本专利 :CN114121754B ,2025-10-14

[7]

基板处理装置、基板保持装置以及基板保持方法 [P].

功刀裕二 ;

佐佐木芳彦 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN117438363A ,2024-01-23

[8]

基板保持装置、基板处理装置以及基板保持方法 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120527258A ,2025-08-22

[9]

基板保持装置、基板保持方法以及光刻装置 [P].

东海林俊 ;

绳卷辉久 .

日本专利 :CN117631468A ,2024-03-01

[10]

基板保持装置、具有基板保持装置的基板处理装置以及基板处理方法 [P].

柏木诚 ;

保科真穗 .

中国专利 :CN109719103A ,2019-05-07

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