一种蓝宝石衬底基片背刷装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202211704366.8
申请日
2022-12-29
公开(公告)号
CN116190264B
公开(公告)日
2024-05-31
发明(设计)人
刘德贵 滕斌 林大舜 马树锋 杨佑恩
申请人
天通银厦新材料有限公司
申请人地址
750000 宁夏回族自治区银川市西夏区银川经济技术开发区宏图南街296号
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
H01L21/02 B08B1/12 B08B1/36 B08B3/02
代理机构
银川瑞海陈知识产权代理事务所(普通合伙) 64104
代理人
贠天娥
法律状态
授权
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
[1]
复合蓝宝石衬底基片及其制备方法 [P]. 
夏长泰 ;
徐军 ;
周圣明 ;
李抒智 ;
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[2]
蓝宝石衬底基片几何参数检测系统 [P]. 
曹伟兵 ;
朱洪伟 .
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[3]
一种蓝宝石衬底晶片 [P]. 
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[4]
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李国红 ;
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邓源 .
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[5]
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田晓强 ;
崔思远 ;
文国昇 ;
金从龙 .
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
蓝宝石衬底研磨装置 [P]. 
黄根友 .
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